無塵車間燈管分為白色燈管和黃色燈管兩種,能有效抑制400~500nm以下波長的紫外線釋放,廣泛應用于不需要紫外線的場所。液晶產(chǎn)業(yè)無塵光刻間是不能有紫外線的,否者玻璃基板上的透明導電圖形容易報廢。液晶產(chǎn)業(yè)無塵室光刻間的燈管通常采用HID高壓氣體放電燈,若是該照明系統(tǒng)除了故障,那么對光刻加工工序影響非常大。

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圖為廣科智能工程隊現(xiàn)場維修STK智能倉儲系的HID高壓氣體放電燈系統(tǒng)的VAHLE法勒集電器。德國VAHLE(法勒)是一家專門從事移動供電和數(shù)據(jù)傳輸設備的公司,創(chuàng)立于1912年,總部設在德國卡門。VAHLE(法勒)的移動供電和數(shù)據(jù)傳輸設備可應用于多種領(lǐng)域,主要應用于起重機械(常規(guī))、自動倉儲系統(tǒng)、自動化生產(chǎn)線,港口等。

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圖為廣科智能工程隊現(xiàn)場維修STK智能倉儲系的HID高壓氣體放電燈系統(tǒng) LDS-2691A基板。