日本TAKASAGO高砂曝光機(jī)異物檢知的LED直流電源ZX-800LA界面：

EXTENDED RANGE DC POWER SUPPLY 0-80V/0-80A 800W

按鈕：VOLTAGE（電壓）、CURRENT（電流）

MEMORY：DISPLAY、A、B、C、STORE、OVP、OCP、PRESET、FUNC.、LOCAL、LOCK、OUTPUT

在液晶顯示屏的生產(chǎn)制造過(guò)程中，要經(jīng)過(guò)一道利用曝光機(jī)對(duì)玻璃基板進(jìn)行曝光的工序，接近式光刻機(jī)的掩膜板與玻璃基板之間存在一個(gè)微小的曝光間隙，然后通過(guò)平行光(UV)的照射在該曝光間隙中進(jìn)行曝光，如此一來(lái)，可以有效避免掩膜板與玻璃基板直接接觸而引起對(duì)掩膜板的損傷。

對(duì)于玻璃基板曝光過(guò)程而言，曝光間隙的數(shù)值越小越好，但曝光間隙越小對(duì)玻璃基板的潔凈程度的要求也越高。當(dāng)異物進(jìn)入到曝光間隙中或者落在玻璃基板上時(shí)，若是沒(méi)有及時(shí)發(fā)現(xiàn)異物的存在而進(jìn)行曝光的話，那么基板上的異物很有可能在曝光時(shí)對(duì)掩膜版造成污染甚至劃傷，或者在曝光后產(chǎn)生質(zhì)量不合格的產(chǎn)品，這兩種情況都將導(dǎo)致生產(chǎn)成本的升高并浪費(fèi)工時(shí)。所以這道工序還需要曝光機(jī)異物檢知裝置。當(dāng)前的接近式曝光機(jī)在曝光前都會(huì)有異物檢知裝置，來(lái)檢測(cè)異物的大小，當(dāng)檢知到的異物高度值大于曝光間隙時(shí)，會(huì)報(bào)警判涂布玻璃基板為非工作狀態(tài)，不進(jìn)入曝光程序。