DAIHEN雙臂真空晶圓傳輸機(jī)械手

DAIHEN雙臂真空晶圓傳輸機(jī)械手

優(yōu)勢(shì)：

650WPH真空高速穩(wěn)定傳輸，超高軌跡精度和定位精度，且具備晶圓中心錯(cuò)位校正功能；