Brooks布魯克斯機(jī)械手

BROOKS真空機(jī)器人特點(diǎn)：

1、可在真空集束機(jī)臺(tái)里輸送晶圓；

2、可傳送300mm 的晶圓；

3、擁有專(zhuān)利BiSymmetrik的雙末端執(zhí)行器；

4、可用于本地和遠(yuǎn)程監(jiān)視和診斷的高級(jí)固件；

5、符合CE和SEMI S2。